共沉积Ag层对WO_3薄膜表面形貌和光吸收特性的影响研究

摘要

利用磁控溅射WO_3陶瓷和金属Ag靶的方法在玻璃衬底上沉积WO_3及弥散Ag粒子的WO_3薄膜,通过SEM、XRD、Raman谱和UV-Vis光谱等技术考察共沉积Ag层在薄膜表层和里层分布对WO_3薄膜表面形貌、分子振动模式和光吸收特性的影响。结果表明:共沉积Ag层不仅显著地影响了WO_3薄膜的Raman谱和光吸收特性,而且分布在薄膜表层和内层的Ag粒子能有效地修饰WO_3薄膜表面微观结构,为改善WO_3薄膜的结构和光学特性提供了一种有效的方法。